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工件边缘精密测量系统

发表:2010/11/4 | 编辑: xiao | 浏览: 647
机械零件的边缘几何尺寸至关重要时,就必须对它们进行精确的、可复现的测量。例如,在燃料喷射系统中,提供密封性的边缘几何尺寸必须加工得极其精密,以提高喷射燃料的准时性,并使泄漏的可能性降至最小。

为了实现某些应用功能,有时需要对工件边缘进行小至5μM的倒棱加工。为了在生产检测中,通过测针的一次性触测,实现对边缘几何尺寸精确的、可复现的测量,HOMMELETAMIC公司推出了一种纳米扫描粗糙度及轮廓形状测量系统。该系统能对工件边缘进行微米级检测,同时还能确定构成边缘的两个表面的粗糙度。该系统还能评估轮廓特征(如半径和角度),且能达到20NM的重复测量精度。

除了检测边缘以外,该系统还能确定由边缘毛刺造成的凸起,这些毛刺是在加工过程中产生的,它们会削弱边缘功能。该测量系统配备的高分辨力(0.6NM)激光干涉仪可以实现对这些微小毛刺的纳米扫描检测。有时,尽管这些毛刺的高度只有12μM,但当配合间隙仅为1μM时,一个微小毛刺就可能造成配合不良的问题。

在接触测量时,金刚石测针可将工件表面测量值传输到激光干涉仪中,接触式测头可与激光干涉仪相互配合进行检测。为了避免采用数学方式滤除由驱动测量运动的电机产生的机械噪声,纳米扫描测量系统配备了一个可进行机械滤波的驱动装置,该装置可消除电气噪声和任何机械噪声。


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